Ｘ線透過式2次元測定機 MVX-818
測定機・分類機
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- 基板の膨張・収縮・変形の分析
- X線カメラにより多層基板のパターン透視確認や、パターン座標測定により基板の膨張・収縮・変形の分析や不良解析が出来ます。
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- 多層基板製造工程での使用例
- 露光から完成までの各工程で測定をすることにより、基板の膨張・収縮･変形の分析をします。
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- マイクロフォーカスX線透視画像と多彩な測定
- 鮮明なX線画像（ズーム機能付）と多彩な測定機能があります
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- 分析ソフト
- 変形を図や表にする各種分析ソフトがあります。
| 製品名 | Ｘ線透過式2次元測定機 |
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| 品番 | MVX-818 |
製品機能と特長
X線カメラによる多層基板のパターン透視確認・座標測定を行い、基板の膨張・収縮・変形の分析をします。MVX-818のみで露光からの各加工工程の分析が行えます。
（CCDカメラも搭載している為、X線ではできない露光フィルムなども測定可能です。）
- 品質改善
- 多層基板の製造工程の前後に測定データをフィードバックすることで品質改善に役立ちます。
- 鮮明画像
- マイクロフォーカスX線とX線カメラのズーム機能により、大パターンから小パターンの高精度な測定が可能です。
- 安定測定
- X線基準穴明機で培ったX線技術により、安定した測定ができます。