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X線透過式2次元測定機 MVX-818

測定機・分類機

  • MVX-818
  • MVX-818

    基板の膨張・収縮・変形の分析
    X線カメラにより多層基板のパターン透視確認や、パターン座標測定により基板の膨張・収縮・変形の分析や不良解析が出来ます。
  • MVX-818

    多層基板製造工程での使用例
    露光から完成までの各工程で測定をすることにより、基板の膨張・収縮・変形の分析をします。
  • MVX-818

    マイクロフォーカスX線透視画像と多彩な測定
    鮮明なX線画像(ズーム機能付)と多彩な測定機能があります
  • MVX-818

    分析ソフト
    変形を図や表にする各種分析ソフトがあります。
  • MVX-818
  • MVX-818
  • MVX-818
  • MVX-818
  • MVX-818
製品名 X線透過式2次元測定機 
品番 MVX-818

製品機能と特長

X線カメラにより多層基板のパターン透視確認やパターン座標測定します。露光から完成までの各工程で測定をすることにより、基板の膨張・収縮・変形の分析をします。
(CCDカメラも搭載している為、X線では測定できない露光フィルムなども測定が出来る為、工程ごとの分析がMVX-818 1台で可能となります。)

品質改善
多層基板の製造工程の前後に測定データをフィードバックすることで品質改善に役立ちます。
鮮明画像
マイクロフォーカスX線とX線カメラのズーム機能により、大パターンから小パターンの高精度な測定が可能です。
安定測定
X線基準穴明機で培ったX線技術により、安定した測定ができます。

製品やサービスについてご不明な点などありましたらお気軽にお問い合わせください。